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J-GLOBAL ID：200902284413781248 整理番号：06A0642987

高温での圧力センサとして,窒化アルミニウム薄膜の出力電圧の測定

Measurement of output voltage of aluminum nitride thin film as a pressure sensor at high temperature

著者 (7件)：

KISHI Kazushi

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

,

OOISHI Yasunobu

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

,

NOMA Hiroaki

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

,

USHIJIMA Eizo

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

,

UENO Naohiro

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

,

AKIYAMA Morito

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

,

TABARU Tatsuo

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., On-site Sensing and Diagnosis Res. Lab., 807 Shukumachi ...)

資料名：

Journal of the European Ceramic Society (Journal of the European Ceramic Society)

巻： 26 号： 15 ページ： 3425-3430 発行年： 2006年
JST資料番号： E0801B ISSN： 0955-2219 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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