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資料名：
巻： IIC-06 号： 132-143 ページ： 1-6 発行年： 2006年09月08日
JST資料番号： X0577A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902284856102289
整理番号：06A0802836
表面形状オブザーバに基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボに関する研究
Nano Scale Servo Control of Atomic Force Microscope Based on Surface Topography Observer
青木建吾
(横浜国大)
,
藤本博志
(横浜国大)
資料名：
電気学会産業計測制御研究会資料
(Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻： IIC-06 号： 132-143 ページ： 1-6 発行年： 2006年09月08日
JST資料番号： X0577A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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