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著者 (6件)：
資料名：
巻： 8 号： 7 ページ： S455-S460 発行年： 2006年07月
JST資料番号： D0538C ISSN： 1464-4258 CODEN： JOAOF8 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902285846003610
整理番号：06A0634623
光導波路に応用するためのシリコン・オン・インシュレータの多段階加工法の開発
Development of multi-step processing in silicon-on-insulator for optical waveguide applications
SOLEHMAINEN K
(VTT Information Technol., FIN)
,
AALTO T
(VTT Information Technol., FIN)
,
DEKKER J
(VTT Information Technol., FIN)
,
KAPULAINEN M
(VTT Information Technol., FIN)
,
HARJANNE M
(VTT Information Technol., FIN)
,
HEIMALA P
(VTT Information Technol., FIN)
資料名：
Journal of Optics. A. Pure and Applied Optics
(Journal of Optics. A. Pure and Applied Optics)
巻： 8 号： 7 ページ： S455-S460 発行年： 2006年07月
JST資料番号： D0538C ISSN： 1464-4258 CODEN： JOAOF8 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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