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著者 (1件)：
資料名：
巻： 16 号： 1 ページ： 1-7 発行年： 2004年05月31日
JST資料番号： L3298A ISSN： 0915-5023 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902285877852519
整理番号：04A0411119
微細加工技術 微細3次元加工技術の動向とその展開
服部正
(兵庫県立大 高度産業科学技術研究所)
資料名：
日本設備管理学会誌
(Journal of the Society of Plant Engineers Japan)
巻： 16 号： 1 ページ： 1-7 発行年： 2004年05月31日
JST資料番号： L3298A ISSN： 0915-5023 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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