文献
J-GLOBAL ID:200902285941394600
整理番号:05A0061567
ディープ紫外線用弗化カルシウム単結晶の高精度フロート研磨加工(04A060014の差替記事)
Ultra-Precision Float Polishing of Calcium Fluoride Single Crystals for Deep Ultra Violet Applications
著者 (6件):
NAMBA Y
(Chubu Univ., Kasugai, JPN)
,
OHNISHI N
(Chubu Univ., Kasugai, JPN)
,
YOSHIDA S
(Chubu Univ., Kasugai, JPN)
,
HARADA K
(Chubu Univ., Kasugai, JPN)
,
YOSHIDA K
(Osaka Inst. Technol., Osaka, JPN)
,
MATSUO T
資料名:
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻:
53
号:
2
ページ:
459-462
発行年:
2004年
JST資料番号:
E0026A
ISSN:
0007-8506
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)