文献
J-GLOBAL ID:200902286205530862
整理番号:07A0905658
ECR-CVDシステムによるICパッケージングモールド上の非晶質水素化炭素被覆層
Amorphous hydrogenated carbon coatings on IC packaging mold by ECR-CVD system
著者 (2件):
GUO C.t.
(Dep. of Networks and Communication, Diwan Coll. of Management, Taiwan, TWN)
,
CHEN P.c.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Cheng Kung Univ., Taiwan & Universal Nano Tech. Co. Ltd., Taiwan, TWN)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
253
号:
23
ページ:
9191-9197
発行年:
2007年09月30日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)