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資料名：
巻： 216 号： 1/4 ページ： 181-186 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902286349435945
整理番号：03A0506006
Cu/Si接触系におけるナノ結晶TiZrN膜の拡散障壁特性
Diffusion barrier properties of nano-crystalline TiZrN films in Cu/Si contact systems
TAKEYAMA M B
(Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN)
,
ITOI T
(Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN)
,
AOYAGI E
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
NOYA A
(Kitami Inst. Technol., Kitami, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 216 号： 1/4 ページ： 181-186 発行年： 2003年06月30日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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