文献
J-GLOBAL ID:200902286510215608
整理番号:07A0237183
精密セラミックガイドレール上の進行振動を用いた超音波浮上非接触台
An Ultrasonically Levitated Noncontact Stage Using Traveling Vibrations on Precision Ceramic Guide Rails
著者 (5件):
KOYAMA Daisuke
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
IDE Takeshi
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
FRIEND James R.
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
NAKAMURA Kentaro
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
UEHA Sadayuki
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
54
号:
3
ページ:
597-604
発行年:
2007年03月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)