文献
J-GLOBAL ID:200902286812246170
整理番号:07A0123539
マスク形状のためのダイ対データベース検証ツールNGR4000の紹介
Introduction of a Die-to-Database Verification Tool for Mask Geometry NGR4000
著者 (9件):
HOFFMAN Michael J.
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
KITAMURA Tadashi
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
KUBOTA Kazufumi
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
HASEBE Toshiaki
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
NAKAZAWA Shinichi
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
TOKUMOTO Toshifumi
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
TSUNEOKA Masatoshi
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
YAMAMOTO Masahiro
(NanoGeometry Res. Inc., Tokyo, JPN)
,
INOUE Masahiro
(Topcon Corp., Tokyo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6349
号:
Pt.2
ページ:
634940.1-634940.6
発行年:
2006年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)