文献
J-GLOBAL ID:200902287664717718
整理番号:05A0991119
ターボ分子ポンプのポンピング性能に対するブレード表面ラフネスの影響
Effect of blade-surface-roughness on the pumping performance of a turbomolecular pump
著者 (4件):
SAWADA T.
(Akita Study Center, The Univ. of the Air, Akita 010-8502, JPN)
,
YABUKI M.
(Dep. of Mechanical Engineering, Tsuruoka National Coll. of Technol., Tsuruoka 997-8511, JPN)
,
SUGIYAMA W.
(Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering and Resource Sci., Akita Univ., Akita 010-8502, JPN)
,
WATANABE M.
(Engineering Div., Hachi-ohji Factory, Osaka Vacuum Ltd., Hachi-ohji 193-0942, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
23
号:
6
ページ:
1538-1544
発行年:
2005年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)