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資料名：
巻： 103 号： 167(US2003 23-34) ページ： 1-6 発行年： 2003年07月04日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902288325770525
整理番号：03A0587611
MOCVD法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の低温成長と特性の改善
Low temperature growth of Pb(Zr,Ti)O3 thin films by MOCVD and improvements in their properties
岡庭守
(姫路工大 大学院工学研究科)
,
藤沢浩訓
(姫路工大 大学院工学研究科)
,
清水勝
(姫路工大 大学院工学研究科)
,
丹生博彦
(姫路工大 大学院工学研究科)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 103 号： 167(US2003 23-34) ページ： 1-6 発行年： 2003年07月04日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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