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著者 (3件)：
資料名：
巻： 24 号： 3 ページ： 521-528 発行年： 2006年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902288472402094
整理番号：06A0354991
結晶TiO2膜の低温スパッタリング
Low-temperature sputtering of crystalline TiO2 films
MUSIL J.
(Dep. of Physics, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 22, 30614 Plzen, CZE)
,
HERMAN D.
(Dep. of Physics, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 22, 30614 Plzen, CZE)
,
SICHA J.
(Dep. of Physics, Univ. of West Bohemia, Univerzitni 22, 30614 Plzen, CZE)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 24 号： 3 ページ： 521-528 発行年： 2006年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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