文献
J-GLOBAL ID:200902290568589270
整理番号:03A0538853
リソグラフフィーで規定したナノパターンをもつ基板上のブロック共重合体のエピタキシャル自己集合
Epitaxial self-assembly of block copolymers on lithographically defined nanopatterned substrates.
著者 (6件):
KIM S O
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
,
SOLAK H H
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
STOYKOVICH M P
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
,
FERRIER N J
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
,
DE PABLO J J
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
,
NEALEY P F
(Univ. Wisconsin, Wisconsin, USA)
資料名:
Nature (London)
(Nature (London))
巻:
424
号:
6947
ページ:
411-414
発行年:
2003年07月24日
JST資料番号:
D0193B
ISSN:
0028-0836
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)