文献
J-GLOBAL ID:200902290760212067
整理番号:04A0021016
rfスパッタリングにより形成したCr-B,Cr-B-Nおよび多層Cr-B/Cr-B-N薄膜の組織および性質
Structure and properties of Cr-B, Cr-B-N and multilayer Cr-B/Cr-B-N thin films prepared by r.f.-sputtering
著者 (6件):
SAKAMOTO Y
(Toyama National Coll. of Technol., Toyama, JPN)
,
NOSE M
(Takaoka National Coll., Takaoka, JPN)
,
MAE T
(Toyama National Coll. of Technol., Toyama, JPN)
,
HONBO E
(Toyama Industrial Res. Center, Takaoka, JPN)
,
ZHOU M
(Osaka Univ., Mihogaoka, JPN)
,
NOGI K
(Osaka Univ., Mihogaoka, JPN)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
174/175
ページ:
444-449
発行年:
2003年09月
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)