文献
J-GLOBAL ID:200902291016966840
整理番号:03A0547802
第三世代シンクロトロン放射源を用いた高分解能高エネルギーX線光電子分光,及びSi高k絶縁体系へのその応用
High resolution-high energy x-ray photoelectron spectroscopy using third-generation synchrotron radiation source, and its application to Si-high k insulator systems
著者 (9件):
KOBAYASHI K
(JASRI/SPring-8, Hyogo, JPN)
,
YABASHI M
(JASRI/SPring-8, Hyogo, JPN)
,
TAKATA Y
(RIKEN/SPring-8, Hyogo, JPN)
,
TOKUSHIMA T
(RIKEN/SPring-8, Hyogo, JPN)
,
TAMASAKU K
(RIKEN/SPring-8, Hyogo, JPN)
,
MIWA D
(RIKEN/SPring-8, Hyogo, JPN)
,
NOHIRA H
(Musashi Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
SUGITA Y
(Fujitsu Lab. Ltd., Atsugi, JPN)
,
NAKATSUKA O
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
83
号:
5
ページ:
1005-1007
発行年:
2003年08月04日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)