文献
J-GLOBAL ID:200902292406609378
整理番号:07A0574439
短い間隔の平行板内の圧力分布と排気遅れ
Pressure Distribution and Pumping Delay Time in Short-Spacing Parallel Planes
著者 (3件):
SAITO Yoshio
(KEK-High Energy Accelerator Res. Organization, Ibaraki, JPN)
,
SATO Y.
(KEK-High Energy Accelerator Res. Organization, Ibaraki, JPN)
,
MATUDA Namio
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
資料名:
真空
(Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻:
50
号:
5
ページ:
366-370
発行年:
2007年05月20日
JST資料番号:
G0194A
ISSN:
0559-8516
CODEN:
SHINA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)