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文献
J-GLOBAL ID:200902293425714138   整理番号:08A0149266

触媒基準エッチング法

Catalyst-referred etching
著者 (5件):
原英之
(大阪大 大学院工学研究科)
佐野泰久
(大阪大 大学院工学研究科)
有馬健太
(大阪大 大学院工学研究科)
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科)
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)

資料名:
応用物理  (JSAP International)

巻: 77  号:ページ: 168-171  発行年: 2008年02月10日 
JST資料番号: F0252A  ISSN: 0369-8009  CODEN: OYBSA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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