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著者 (5件)：
資料名：
巻： 77 号： 2 ページ： 168-171 発行年： 2008年02月10日
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：200902293425714138
整理番号：08A0149266
触媒基準エッチング法
Catalyst-referred etching
原英之
(大阪大 大学院工学研究科)
,
佐野泰久
(大阪大 大学院工学研究科)
,
有馬健太
(大阪大 大学院工学研究科)
,
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科)
,
山内和人
(大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名：
応用物理
(JSAP International)
巻： 77 号： 2 ページ： 168-171 発行年： 2008年02月10日
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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