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著者 (3件)：
資料名：
巻： 44 号： 7A ページ： 4843-4847 発行年： 2005年07月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902294539168709
整理番号：05A0703603
デバイス性能に及ぼす極めて浅いソース/ドレイン延長部の影響
Impact of Aggressively Shallow Source/Drain Extensions on Device Performance
KIMOTO Kenji
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
TADA Tetsuya
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KANAYAMA Toshihiko
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 7A ページ： 4843-4847 発行年： 2005年07月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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