Sorry, this section is only available in Japanese.
著者 (6件)：
資料名：
巻： 46 号： 8 ページ： 1911-1917 発行年： 2005年08月20日
JST資料番号： G0668A ISSN： 1345-9678 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902296014974120
整理番号：06A0073306
rf反応スパッタリングにより作製したTi-Si-N被覆の微細構造及び特性に及ぼすターゲット材料の影響
Influence of Target Material on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Coatings Prepared by r.f.-Reactive Sputtering
NOSE Masateru
(Takaoka National Coll., Takaoka, JPN)
,
DEGUCHI Yutaka
(Toyama Univ., Toyama, JPN)
,
HONBO Eiji
(Toyama Industrial Res. Center, Takaoka, JPN)
,
CHIOU Wen-An.
(Univ. California, CA, USA)
,
MAE Takehiko
(Toyama National Coll. of Technol., Toyama, JPN)
,
NOGI Kiyoshi
(Osaka Univ., Ibaraki, JPN)
資料名：
Materials Transactions
(Materials Transactions)
巻： 46 号： 8 ページ： 1911-1917 発行年： 2005年08月20日
JST資料番号： G0668A ISSN： 1345-9678 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。