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文献
J-GLOBAL ID:200902296375348550   整理番号:04A0709955

プラズマアシスト化学気相成長法で合成した窒化ほう素炭素膜の電気的,光学的性質

Electrical and optical characteristics of boron carbon nitride films synthesized by plasma-assisted chemical vapor deposition
著者 (3件):
YUKI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
UMEDA S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
SUGINO T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)

資料名:
Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)

巻: 13  号: 4/8  ページ: 1130-1134  発行年: 2004年04月 
JST資料番号: W0498A  ISSN: 0925-9635  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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