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著者 (3件)：
資料名：
巻： 77 号： 2 ページ： 277-284 発行年： 2003年07月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902296634435423
整理番号：03A0465366
シリコン表面のナノ構造形成
Surface nanostructuring of silicon
PEDRAZA A J
(Univ. Tennessee, TN, USA)
,
FOWLKES J D
(Univ. Tennessee, TN, USA)
,
GUAN Y-F
(Univ. Tennessee, TN, USA)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 77 号： 2 ページ： 277-284 発行年： 2003年07月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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