文献
J-GLOBAL ID:200902297624997373
整理番号:04A0357214
すれすれ入射電子誘起X線放射分光によるLaSix/Si(100)の熱酸化の研究
Study of thermal oxidation of LaSix/Si(100) by grazing incidence electron-induced X-ray emission spectroscopy
著者 (2件):
KASHIWAKURA T
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
,
NAKAI S
(Utsunomiya Univ., Tochigi, JPN)
資料名:
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
(Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻:
135
号:
1
ページ:
47-52
発行年:
2004年03月
JST資料番号:
D0266C
ISSN:
0368-2048
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)