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資料名：
巻： 48 号： 9,Issue 1 ページ： 095505.1-095505.4 発行年： 2009年09月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902298613648810
整理番号：09A1035325
6H-SiC(0001)Si面の熱分解と水素エッチング速度のその場重量測定監視
In situ Gravimetric Monitoring of Thermal Decomposition and Hydrogen Etching Rates of 6H-SiC(0001) Si Face
AKIYAMA Kazuhiro
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
ISHII Yasuhiro
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
ABE Sohei
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
MURAKAMI Hisashi
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
KUMAGAI Yoshinao
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
OKUMURA Hironori
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KIMOTO Tsunenobu
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
SUDA Jun
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KOUKITU Akinori
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48 号： 9,Issue 1 ページ： 095505.1-095505.4 発行年： 2009年09月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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