文献
J-GLOBAL ID:200902299895483955
整理番号:04A0537682
選択的化学エッチングにF2レーザを使ったシリコーンフィルムの光化学的表面改質
Photochemical Modification of Silicone Films Using F2 Laser for Selective Chemical Etching
著者 (5件):
OKOSHI M
(National Defense Acad., Yokosuka, JPN)
,
KIMURA T
(Kanto Gakuin Univ., Yokohama, JPN)
,
TAKAO H
(National Defense Acad., Yokosuka, JPN)
,
INOUE N
(National Defense Acad., Yokosuka, JPN)
,
YAMASHITA T
(Kanto Gakuin Univ., Yokohama, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
43
号:
6A
ページ:
3438-3442
発行年:
2004年06月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)