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著者 (2件)：
資料名：
巻： 38 号： 2 ページ： L17-L19 発行年： 1976年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 CODEN： THSFA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201002001452634480
整理番号：77A0105200
ブタンプラズマ中でrfターゲットに蒸着された硬い絶縁体炭素質薄膜
Deposition of hard and insulating carbonaceous films on an r.f. target in a butane plasma.
HOLLAND L
,
OJHA S M
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 38 号： 2 ページ： L17-L19 発行年： 1976年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 CODEN： THSFA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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