文献
J-GLOBAL ID:201002043880008114
整理番号:80A0076179
レーザ増強電気めっきおよびマスク無しパターン形成
Laser enhanced electroplating and maskless pattern generation.
著者 (4件):
Von GUTFELD R J
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
TYNAN E E
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
MELCHER R L
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
BLUM S E
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
資料名:
Appl Phys Lett
(Applied Physics Letters)
巻:
35
号:
9
ページ:
651-653
発行年:
1979年
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)