文献
J-GLOBAL ID:201002206340911059
整理番号:10A0467048
CoドープおよびNiドープ炭素薄膜の電気および機械特性の評価
Electrical and Mechanical Characteristics of Co-Doped and Ni-Doped Carbon Thin Films
著者 (3件):
YABE Mitsunori
(NIHON AUTOMOBILE COLL., Chiba)
,
UMEMURA Shigeru
(Chiba Inst. of Technol., Chiba)
,
HIRONO Shigeru
(MES AFTY Corp., Tokyo)
資料名:
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻:
61
号:
5
ページ:
379-383
発行年:
2010年05月01日
JST資料番号:
G0441B
ISSN:
0915-1869
CODEN:
HYGIEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)