文献
J-GLOBAL ID:201002213613974160
整理番号:10A0685193
二重部分一括描画開口によるマスクレス電子ビーム直接描画の評価
Evaluation of maskless electron beam direct writing with double character projection apertures
著者 (3件):
MIDOH Y.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TERASAKA T.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
NAKAMAE K.
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7637
ページ:
76370D.1-76370D.9
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)