文献
J-GLOBAL ID:201002213962755492
整理番号:10A0731580
偏光変化検出によるマスク欠陥検査
Mask defect inspection by detecting polarization variations
著者 (2件):
TAKADA Akira
(Topcon Corp., Tokyo, JPN)
,
SHIBUYA Masato
(Tokyo Polytechnic Univ.)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7638
号:
Pt.2
ページ:
76382Y.1-76382Y.8
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)