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資料名：
巻： 76 号： 12 ページ： 1364-1370 発行年： 2010年12月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201002214878573784
整理番号：10A1620465
新型リニアモータ駆動による超精密位置決め-モータ電流制御系に着目したサブナノメートル分解能位置決めへの試み-
Ultraprecision Positioning by New Type of Linear Motor Drive-Challenge to Sub-nanometer Positioning Resolution by Paying Attention to Electric Current Control System-
田中淑晴
(豊田工高専)
,
大塚二郎
(静岡理工科大)
,
増田郁郎
(静岡理工科大)
,
伊藤優一
(静岡理工科大 大学院)
,
青山康明
(日立 日立研)
資料名：
精密工学会誌(CD-ROM)
(精密工学会誌論文集)
巻： 76 号： 12 ページ： 1364-1370 発行年： 2010年12月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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