文献
J-GLOBAL ID:201002220820455153
整理番号:10A0931874
高速AFMに対するZスキャナを考慮した表面トポグラフィーオブザーバの提案
Proposal of Surface Topography Observer considering Z-scanner for High-speed AFM
著者 (2件):
SHIRAISHI Takayuki
(Yokohama National Univ., JPN)
,
FUJIMOTO Hiroshi
(Yokohama National Univ., JPN)
資料名:
Proceedings of the American Control Conference
(Proceedings of the American Control Conference)
巻:
2010 Vol.4
ページ:
2754-2759
発行年:
2010年
JST資料番号:
B0982A
ISSN:
0743-1619
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)