文献
J-GLOBAL ID:201002220892062598
整理番号:10A0213412
窒素希釈水素化非晶質炭素(n型a-C:H)薄膜の特性とn型a-C:H/p型結晶シリコンヘテロ接合ダイオードの実現
Properties of nitrogen diluted hydrogenated amorphous carbon (n-type a-C:H) films and their realization in n-type a-C:H/p-type crystalline silicon heterojunction diodes
著者 (4件):
KUMAR Sushil
(Plasma Processed Materials Group, National Physical Lab. (CSIR), Dr. K.S. Krishnan Road, New Delhi 110 012, IND)
,
DWIVEDI Neeraj
(Plasma Processed Materials Group, National Physical Lab. (CSIR), Dr. K.S. Krishnan Road, New Delhi 110 012, IND)
,
RAUTHAN C.m.s.
(Plasma Processed Materials Group, National Physical Lab. (CSIR), Dr. K.S. Krishnan Road, New Delhi 110 012, IND)
,
PANWAR O.s.
(Plasma Processed Materials Group, National Physical Lab. (CSIR), Dr. K.S. Krishnan Road, New Delhi 110 012, IND)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
84
号:
7
ページ:
882-889
発行年:
2010年03月04日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)