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著者 (4件)：
資料名：
巻： 96 号： 20 ページ： 203508 発行年： 2010年05月17日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201002236187535855
整理番号：10A0523670
リン組み込みによるSiO2/4H-SiC(0001)界面における界面近傍トラップの除去
Removal of near-interface traps at SiO2/4H-SiC (0001) interfaces by phosphorus incorporation
OKAMOTO Dai
(Graduate School of Materials Sci., Nara Inst. of Sci. and Technol., 8916-5 Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, JPN)
,
YANO Hiroshi
(Graduate School of Materials Sci., Nara Inst. of Sci. and Technol., 8916-5 Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, JPN)
,
HATAYAMA Tomoaki
(Graduate School of Materials Sci., Nara Inst. of Sci. and Technol., 8916-5 Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, JPN)
,
FUYUKI Takashi
(Graduate School of Materials Sci., Nara Inst. of Sci. and Technol., 8916-5 Takayama, Ikoma, Nara 630-0192, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 96 号： 20 ページ： 203508 発行年： 2010年05月17日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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