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著者 (4件)：
資料名：
巻： 130 号： 9 ページ： 421-425 (J-STAGE) 発行年： 2010年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201002243368844597
整理番号：10A0949994
アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
Evaluation and Application of Resist for Alkaline Wet Etching
高橋智一
(東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻)
,
巻幡光俊
(東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻)
,
江刺正喜
(東北大学原子分子材料科学高等研究機構)
,
田中秀治
(東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 130 号： 9 ページ： 421-425 (J-STAGE) 発行年： 2010年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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