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著者 (5件)：
資料名：
巻： 50 号： 8 ページ： 728-736 発行年： 2010年08月
JST資料番号： C0568A ISSN： 0890-6955 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201002245037574746
整理番号：10A0605880
単結晶シリコン加工での新二次元超音波援用研削(2D-UAG)方法とその基本的性能
A new two-dimensional ultrasonic assisted grinding (2D-UAG) method and its fundamental performance in monocrystal silicon machining
LIANG Zhiqiang
(Key laboratory of Fundamental Sci. for Advanced Machining, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN)
,
LIANG Zhiqiang
(Dep. of Machine Intelligence and Systems Engineering, Akita Prefectural Univ., 84-4 Tsuchiya-ebinokuchi, Yurihonjo ...)
,
WU Yongbo
(Dep. of Machine Intelligence and Systems Engineering, Akita Prefectural Univ., 84-4 Tsuchiya-ebinokuchi, Yurihonjo ...)
,
WANG Xibin
(Key laboratory of Fundamental Sci. for Advanced Machining, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN)
,
ZHAO Wenxiang
(Key laboratory of Fundamental Sci. for Advanced Machining, Beijing Inst. of Technol., Beijing 100081, CHN)
資料名：
International Journal of Machine Tools & Manufacture
(International Journal of Machine Tools & Manufacture)
巻： 50 号： 8 ページ： 728-736 発行年： 2010年08月
JST資料番号： C0568A ISSN： 0890-6955 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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