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著者 (4件)：
資料名：
巻： 18 号： 6 ページ： 1357-1364 発行年： 2009年12月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201002256635733605
整理番号：10A0030770
大たわみ螺旋形状マイクロミラーアクチュエータ
Large-Deflection Spiral-Shaped Micromirror Actuator
SADAT Seid Hossein
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
SADAT Seid Hossein
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
KAMIYA Daiki
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
HORIE Mikio
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 18 号： 6 ページ： 1357-1364 発行年： 2009年12月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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