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資料名：
巻： 80 号： 12 ページ： 126109 発行年： 2009年12月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201002261575034811
整理番号：10A0052727
シリコンウエハーに対する混合表面温度センサーの不確定性と内蔵熱電対との比較
Uncertainty of a hybrid surface temperature sensor for silicon wafers and comparison with an embedded thermocouple
IUCHI Tohru
(Dep. of Mechanical Engineering, Toyo Univ., 2100 Kujirai, Kawagoe, Saitama 350-8585, JPN)
,
GOGAMI Atsushi
(Toyo Univ., 2100 Kujirai, Kawagoe, Saitama 350-8585, JPN)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 80 号： 12 ページ： 126109 発行年： 2009年12月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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