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文献
J-GLOBAL ID:201002279904475014   整理番号:10A0487956

擬似SOC技術によるMEMSセンサとセンスアンプLSIの薄型集積化モジュール

One-chip Integrated Module of MEMS Shock Sensor and Sensing Amplifier LSI using Pseudo-SOC Technology
著者 (6件):
飯田敦子
((株)東芝 研究開発センター)
小野塚豊
((株)東芝 研究開発センター)
西垣亨彦
((株)東芝 研究開発センター)
山田浩
((株)東芝 研究開発センター)
舟木英之
((株)東芝 研究開発センター)
板谷和彦
((株)東芝 研究開発センター)

資料名:
電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)

巻: 130  号:ページ: 157-164 (J-STAGE)  発行年: 2010年 
JST資料番号: L3098A  ISSN: 1341-8939  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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