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J-GLOBAL ID：201002292824359281 整理番号：10A0686601

僅かに還元されたNbドープTiO_2-xセラミックターゲットを用いたdcマグネトロンスパッタリングにより堆積したNbドープTiO₂膜の電気的及び光学的性質

Electrical and optical properties of Nb-doped TiO₂ films deposited by dc magnetron sputtering using slightly reduced Nb-doped TiO_2-x ceramic targets

著者 (6件)：

SATO Yasushi

(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)

,

SANNO Yuta

(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)

,

TASAKI Chihiro

(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)

,

OKA Nobuto

(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)

,

KAMIYAMA Toshihisa

(AGC Ceramics Co. Ltd., 5-6-1 Umei, Takasago, Hyogo 676-8655, JPN)

,

SHIGESATO Yuzo

(Graduate School of Sci. and Engineering, Aoyama Gakuin Univ., 5-10-1 Fuchinobe, Sagamihara, Kanagawa 229-8558, JPN)

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻： 28 号： 4 ページ： 851 発行年： 2010年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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