文献
J-GLOBAL ID:201002294068437390
整理番号:10A1086237
最終的なフォトマスクの平坦性のための取付け圧力と時間との関係
The relationship between mounting pressure and time on final photomask flatness
著者 (7件):
MIZOGUCHI Takashi
(Toppan Photomasks, Inc (USA))
,
BARRETT Monica
(IBM Corp. (USA), VT, USA)
,
AKUTAGAWA Satoshi
(Toppan Photomasks, Inc (USA))
,
CATERER Michael
(IBM Corp. (USA), VT, USA)
,
NOLAN Robert
(IBM Corp. (USA), VT, USA)
,
PLOUFFE Dennis
(IBM Corp. (USA), VT, USA)
,
ZHOU Nancy
(IBM Corp. (USA), VT, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7748
ページ:
77480C.1-77480C.8
発行年:
2010年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)