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著者 (3件)：
資料名：
巻： 21 号： 3 ページ： 037001,1-5 発行年： 2010年03月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201002296200071882
整理番号：10A0319977
サブナノメートル位置決め装置の開発: 新しいリニアモータの直線運動ボール案内路との結合
Development of a sub-nanometer positioning device: combining a new linear motor with linear motion ball guide ways
OTSUKA J
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
,
TANAKA T
(Toyota National Coll. of Technol., Aichi, JPN)
,
MASUDA I
(Shizuoka Inst. of Sci. and Technol., Shizuoka, JPN)
資料名：
Measurement Science and Technology
(Measurement Science and Technology)
巻： 21 号： 3 ページ： 037001,1-5 発行年： 2010年03月
JST資料番号： C0354C ISSN： 0957-0233 CODEN： MSTCEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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