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文献
J-GLOBAL ID:201102201051055913   整理番号:11A0128985

周期的加熱及び冷却中のスパッタした厚いAl-Si膜の変形挙動に及ぼす集合組織及び結晶粒サイズの効果

Effect of Texture and Grain Size on the Deformation Behavior of Sputtered Thick Al-Si Films during Cyclic Heating and Cooling
著者 (5件):
KUROSU T.
(Power and Industrial Div., Hitachi Ltd.)
KUROSU T.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Ibaraki Univ.)
SHIMIZU Y.
(Graduate School of Sci. and Engineering, Ibaraki Univ.)
TOMOTA Y.
(Inst. of Applied Beam Sci., Graduate School of Sci. and Engineering/Frontier Res. Center for Applied Atomic Sciences ...)
ONUKI J.
(Dep. of Materials Sci., Fac. of Engineering, Ibaraki Univ.)

資料名:
Materials Transactions  (Materials Transactions)

巻: 52  号:ページ: 102-107 (J-STAGE)  発行年: 2011年 
JST資料番号: G0668A  ISSN: 1345-9678  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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