文献
J-GLOBAL ID:201102215193963001
整理番号:11A0852869
超短レーザパルスによるGaN表面のナノ製造
Nanofabrication of GaN surfaces by ultrashort laser pulses
著者 (6件):
NAKASHIMA Seisuke
(RIKEN, Saitama, JPN)
,
SUGIOKA Koji
(RIKEN, Saitama, JPN)
,
ITO Takuma
(RIKEN, Saitama, JPN)
,
ITO Takuma
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
TAKAI Hiroshi
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
MIDORIKAWA Katsumi
(RIKEN, Saitama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7996
ページ:
79960G.1-79960G.12
発行年:
2011年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)