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文献
J-GLOBAL ID:201102215931301280   整理番号:11A0956011

ナノ製造用の熱プラズマ

Thermal plasmas for nanofabrication
著者 (2件):
SHIGETA Masaya
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
MURPHY Anthony B
(CSIRO Materials Sci. and Engineering, NSW, AUS)

資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)

巻: 44  号: 17  ページ: 174025.1-174025.16  発行年: 2011年05月04日 
JST資料番号: B0092B  ISSN: 0022-3727  CODEN: JPAPBE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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