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資料名：
巻： 44 号： 17 ページ： 174025.1-174025.16 発行年： 2011年05月04日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201102215931301280
整理番号：11A0956011
ナノ製造用の熱プラズマ
Thermal plasmas for nanofabrication
SHIGETA Masaya
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MURPHY Anthony B
(CSIRO Materials Sci. and Engineering, NSW, AUS)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 44 号： 17 ページ： 174025.1-174025.16 発行年： 2011年05月04日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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