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著者 (4件)：
資料名：
巻： 77 号： 775 ページ： 624-630 (WEB ONLY) 発行年： 2011年
JST資料番号： U0184A ISSN： 1884-8354 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201102223510561464
整理番号：11A0825831
CNx膜の硬さに及ぼす成膜時基板温度・窒素イオンビーム加速電圧・成膜速度の影響
The Effect of Substrate Temperature, Nitrogen Ionbeam Acceleration Voltage, and Deposition Rate on Hardness of Carbon Nitride Coating
野老山貴行
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
齋藤諒介
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
梅原徳次
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
不破良雄
(トヨタ自動車)
資料名：
日本機械学会論文集 C編(Web)
(Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C (Web))
巻： 77 号： 775 ページ： 624-630 (WEB ONLY) 発行年： 2011年
JST資料番号： U0184A ISSN： 1884-8354 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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