文献
J-GLOBAL ID:201102249344517892
整理番号:11A0791586
劣悪環境用途での低仕事関数窒化チタン被覆トランスファーモールド電界放出アレーの安定性
Suitability of low-work-function titanium nitride coated transfer mold field-emitter arrays for harsh environment applications
著者 (2件):
NAKAMOTO Masayuki
(Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8011, JPN)
,
MOON Jonghyun
(Res. Inst. of Electronics, Shizuoka Univ., 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu, Shizuoka 432-8011, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
29
号:
2
ページ:
02B112
発行年:
2011年03月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)