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文献
J-GLOBAL ID:201102254121522650   整理番号:11A0162007

プラズマおよびウエット化学プロセスによるSU-8の表面親水化

Surface hydrophilization of SU-8 by plasma and wet chemical processes
著者 (9件):
WALTHER Ferdinand
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
DROBEK Tanja
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
GIGLER Alexander M.
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
HENNEMEYER Marc
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
KAISER Michael
(Munich Univ. Applied Sci., Munich, DEU)
HERBERG Helmut
(Munich Univ. Applied Sci., Munich, DEU)
SHIMITSU Tetsuji
(Max-Planck-Inst. extraterrestrische Physik, Garching, DEU)
MORFILL Gregor E.
(Max-Planck-Inst. extraterrestrische Physik, Garching, DEU)
STARK Robert W.
(Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)

資料名:
Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)

巻: 42  号: 12/13  ページ: 1735-1744  発行年: 2010年12月 
JST資料番号: E0709A  ISSN: 0142-2421  CODEN: SIANDQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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