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著者 (3件)：
資料名：
巻： 165 号： 1 ページ： 124-131 発行年： 2011年01月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201102256755035925
整理番号：11A1227707
VUV,VUV/O3,O2プラズマ前処置したシクロオレフイン高分子の低温直接貼合せの研究
Studies on low-temperature direct bonding of VUV, VUV/O3 and O2 plasma pretreated cyclo-olefin polymer
SHINOHARA Hidetoshi
(Major in Nano-Science and Nano-Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjyuku, Tokyo 169-8555, JPN)
,
MIZUNO Jun
(Nanotechnology Res. Lab., Waseda Univ., 513, Wasedatsurumaki-cho, Shinjyuku, Tokyo 162-0041, JPN)
,
SHOJI Shuichi
(Major in Nano-Science and Nano-Engineering, Waseda Univ., 3-4-1, Okubo, Shinjyuku, Tokyo 169-8555, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 165 号： 1 ページ： 124-131 発行年： 2011年01月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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