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著者 (2件)：
資料名：
巻： 165 号： 2 ページ： 422-430 発行年： 2011年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201102263979911859
整理番号：11A0481841
2次元くし形電極駆動マイクロスキャナの設計,製作および真空動作特性
Design, fabrication and vacuum operation characteristics of two-dimensional comb-drive micro-scanner
CHU Hoang Manh
(Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN)
,
HANE Kazuhiro
(Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 165 号： 2 ページ： 422-430 発行年： 2011年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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