文献
J-GLOBAL ID:201102266702661153
整理番号:11A1249951
thiol-yne系に基づくEUVネガ型レジスト
EUV Negative Resist Based on Thiol-Yne System
著者 (5件):
SHIRAI Masamitsu
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
MAKI Koichi
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
OKAMURA Haruyuki
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
KANEYAMA Koji
(Semiconductor Leading Edge Technol., Inc., Ibaraki-ken, JPN)
,
ITANI Toshiro
(Semiconductor Leading Edge Technol., Inc., Ibaraki-ken, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7972
号:
Pt.1
ページ:
79721E.1-79721E.8
発行年:
2011年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)